一、測(cè)試前準(zhǔn)備

1. 系統(tǒng)成功的的通過(guò)了保壓檢漏。

2. 確認(rèn)系統(tǒng)的所有部件都能承受得住真空狀態(tài)而不損壞。

3. 先對(duì)測(cè)漏儀本身閥組及連接管路進(jìn)行漏率檢測(cè)。

4. 氦質(zhì)譜檢漏儀與系統(tǒng)管路接通前，要將被測(cè)系統(tǒng)內(nèi)的氣體釋放掉。

5. 緩緩打開(kāi)測(cè)漏儀入口處的閥門(mén)，將測(cè)漏儀與管路系統(tǒng)隔離閥之間的管路抽真空，直至測(cè)漏儀顯示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

6. 對(duì)連接管路上所有的焊道及機(jī)械連接處進(jìn)行氦氣噴吹。

二、測(cè)試方法

1. 確認(rèn)系統(tǒng)中所有的閥門(mén)和調(diào)壓閥都是全開(kāi)的。

2. 確認(rèn)系統(tǒng)中的壓力為0，如果系統(tǒng)中還有正壓，要先將系統(tǒng)中的氣體放掉。

3. 緩緩打開(kāi)檢漏儀入口處的閥門(mén)，開(kāi)始將系統(tǒng)抽成真空狀態(tài)。遵照檢漏儀的操作說(shuō)明操作，直至達(dá)到可以檢測(cè)的狀態(tài)。

4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進(jìn)行噴吹工作。

5. 從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開(kāi)始檢測(cè)，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會(huì)停留在焊道或連接處一段時(shí)間，確認(rèn)沒(méi)有泄漏后，進(jìn)行下一個(gè)焊道或連接處的檢測(cè)，直到最后一個(gè)焊道或連接處。

6. 如果發(fā)現(xiàn)檢漏儀的指示值有上升的現(xiàn)象，待到檢漏儀讀值恢復(fù)正常后，重新檢測(cè)該焊道或連接處以確認(rèn)其是否真的有漏，如果確認(rèn)不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測(cè)該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點(diǎn)為止。

7. 直至所有的接點(diǎn)都被檢測(cè)到，檢測(cè)合格的接點(diǎn)要貼合格標(biāo)志。所有的接點(diǎn)都噴吹過(guò)氦氣后，繼續(xù)觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認(rèn)讀值沒(méi)有異常后才可以將系統(tǒng)與儀器之間分離開(kāi)。

8. 如果每個(gè)接點(diǎn)的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說(shuō)明該系統(tǒng)的漏率是符合要求的。測(cè)試人員可以將檢測(cè)結(jié)果記錄在檢測(cè)報(bào)告里了。

9. 將檢漏儀與系統(tǒng)分開(kāi)。